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DFG SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Technische UniversitÀt Ilmenau
Ehrenbergstraße 29
98693 Ilmenau
Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske
Tel.: +49 (0) 3677 69-5050
Fax.: +49 (0) 3677 69 5052
eberhard.manske@tu-ilmenau.de

Profil

Immer kleinere Objekte und Strukturen in immer größeren Raumbereichen zu beherrschen, stellt eine enorme technologische Zielstellung dar, aus der sich hohe Anforderungen an die Nanomess- undNanopositioniertechnik ergeben. Nanomess- und Nanopositioniergeräte sind für die nanometergenaue Positionierung und Messung von Nanooberflächen- und Nanostrukturnormalen, von mechanischen und optischen Präzisionsteilen sowie für die Materialanalyse erforderlich.

Um diese anspruchsvollen Zielstellungen zu erreichen, sind weitere umfangreiche wissenschaftlich-theoretische und experimentelle Untersuchungen notwendig. Diese reichen von metrologisch tragfähigen Konzepten über eine leistungsfähige messtechnische Basis bis hin zu neuen und optimierten Werkstoffkombinationen, wirksamen Datenverarbeitungs- und Bedienerkonzepte sowie nicht zuletzt einer effektiven Modellbildung für die Korrektur von System- und Umgebungsstörungen. Für die Bearbeitung dieser komplexen Aufgaben vereint der SFB 622 die wissenschaftliche Breite von 14 Fachgebieten der Ilmenauer Universität. Insgesamt arbeiten 40 Wissenschaftler der TU Ilmenau interdisziplinär zusammen. Vertreten sind dabei neben der Nanomess- und Nanopositioniertechnik u.a. die Gebiete Nanoanalytik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Mechanik, Konstruktion, Werkstoffwissenschaft, Tribologie und Signalverarbeitung.

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Nanopositioniersysteme/ -manipulatoren, Nanosensorik/ -aktorik, Sonstige

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