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DFG SPP 1159 Mess- und PrĂŒftechnik fĂŒr die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Koordination: Friedrich-Alexander-UniversitĂ€t Erlangen-NĂŒrnberg
NĂ€gelsbachstraße 25
91052 Erlangen
Prof. Dr. Albert Weckenmann
Tel.: 09131-85-26521
Fax.: 09131-85-26524
albert.weckenmann@qfm.uni-erlangen.de

Profil

Bereitstellen von neuen Strategien und Methoden für die funktionsorientierte Definition von Kenngrößen, die zielgerechte Auswahl des wirtschaftlich und technisch angemessenen Messverfahrens, den Ablauf der Messung, die Berücksichtigung wirkender Einflüsse bis hin zur Darstellung der Messergebnisse für die Anwendung in der industriellen Fertigung. Eingeschlossen sind Kalibrierverfahren und werkstattgerechte Normale. Damit können verfügbare Messverfahren in der Produktion von Mikrosystemen und Präzisionsbauteilen mit Nanostrukturen so eingesetzt werden, dass Mess- und Prüfverfahren einheitlich vereinbart werden können und rückführbare Ergebnisse ermittelt werden. In den Projekten des Schwerpunkts sollen Grundsätze, Prinzipien und Regeln für Messgrößendefinitionen, Messabläufe und Gestaltung von Elementen der prüftechnischen Kette erforscht und die Ergebnisse in anwendungsgerechten Tests verifiziert werden.

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Maschinen-/ GerÀtebau

NanoanalytikgerÀte, Sensorik/ Messtechnik

Nanoanalytik

Optische Profilometrie, Spektroskopische OberflÀchenanalytik, Sonstige

Nanosysteme/ -sensoren

Nano-/Mikro-Integration, Nanosensorik/ -aktorik

Statistik

Kuchendiagramm Deutschland Verteilung:NET:6.99%;FI:8.63%;UNI:23.8%;KMU:40.44%;GU:13.2%;BV:2.99%;FI:3.38%;M:0.56%;

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  422 Hochschulforschung
  717 KMU
  234 Großunternehmen
  53 Behörden/VerbĂ€nde
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